<< GB 500--73-2001國家標準潔凈廠房設計規范 >>潔凈廠房設計規范,GB 50073-2001
1 總則
1.0.1 潔凈廠房設計必須做到技術先進、經濟適用、安全可靠、確保質量，并應符合節約能源、勞動衛生和環境保護的要求。
1.0.2 本規范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設計。
1.0.3 潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創造必要的條件。
1.0.4 潔凈廠房設計除應按本規范執行外，尚應符合現行的有關強制性國家標準、規范的規定。
2 術語
2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區 clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 clean booth
可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
具有當量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 macroparticle
具有當量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air pattern
對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow
與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow
與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.18 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區 clean working area
指潔凈室內離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
2.0.22傳遞窗pass box
在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態 as-built
設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。
2.0.26 靜態 at-rest
設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。
2.0.27 動態 operational
設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。
2.0.28 檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。
2.0.29高效空氣過濾器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在額定風量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ULPA（ultra low penetration airfilter）
在額定風量下，對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
對電解質雜質含量（常以電阻率表征）和非電解質雜質（如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環境，在這一環境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩態電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
在材料表面層的直流電場強度與穩態電流線密度之商。其量綱為Ω/□。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
在材料內層的直流電場強度與穩態電流密度之商。其量綱為Ω·cm。
2.0.37 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 cleanliness vecoverly characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological cleanroom
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable particles
潔凈室懸浮在空氣中的菌落。
2.0.41 沉降菌 colony forming unit
潔凈室降落在培養皿上的菌落。
3 空氣潔凈度等級
3.0.1 潔凈室及潔凈區內空氣中懸浮粒子潔凈度等級應按表3.0.1確定。

3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態（空態、靜態、動態）應與業主協商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法按附錄C要求進行。
4 總體設計
4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置
4.1.1 潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求并經技術經濟方案比較后確定:
1 應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環境較好的區域。
2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于最大頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側。
3 應布置在廠區內環境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。
4.1.3 潔凈廠房與交通干道之間的距離宜大于50m。
4.1.4 潔凈廠房周圍宜設置環形消防車道（可利用交通道路），如有困難，可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性能好、發塵少的材料。
4.1.6 潔凈廠房周圍應進行綠化。可鋪植草坪，不應種植對生產有害的植物，并不得妨礙消防作業。
4.2 工藝平面布置和設計綜合協調
4.2.1 工藝平面布置應符合下列要求:
1 工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區內只布置必要的工藝設備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。
2 在滿足生產工藝和噪聲要求的前提下，空氣潔凈度等級高的潔凈室或潔凈區宜靠近空氣調節機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。
3 潔凈室內要求空氣潔凈度等級高的工序應布置在上風側，易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。
4 應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。
5 不同空氣潔凈度等級房間之間聯系頻繁時，宜設有防止污染的措施，如緩沖間、氣閘室、傳遞窗等。
6 應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈區之前必須進行清潔處理。
4.2.2 潔凈廠房的平面和空間設計，應滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區、人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應分區布置。同時應考慮生產操作、工藝設備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調系統各種技術設施的綜合協調。
4.2.3 潔凈廠房內應少設隔間，但在下列情況下應予分隔:
1 按生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區段之間，或有防火分隔要求者。
2 生產聯系少，并經常不同時使用的兩個生產區段之間。
4.2.4 在滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下，潔凈廠房內各種固定技術設施（如送風口、照明器、回風口、各種管線等）的布置，應優先考慮凈化空調系統的要求。
4.3 人員凈化和物料凈化
4.3.1 潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據需要設置生活用室和其它用室。
4.3.2 人員凈化用室和生活用室的設置應為:
1 人員凈化用室，應包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房間。
2 廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等其它用室，可根據需要設置。
4.3.3 人員凈化用室和生活用室的設計，應符合下列要求:
1 人員凈化用室的入口處，應設凈鞋措施。
2 存外衣和更潔凈工作服應分別設置。
3 外衣存衣柜應按設計人數每人設一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內。
4 盥洗室應設洗手和烘干設施。
5 空氣吹淋室應設在潔凈區人員入口處，并應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數每30人設一臺。潔凈區工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。
6 當為5級以上垂直單向流潔凈室時，宜設氣閘室。
7 潔凈區內不宜設廁所。人員凈化用室內的廁所應設前室。
4.3.4 人流路線應符合下列要求:
1 人流路線應避免往復交叉。
2 人員凈化用室和生活用室的布置，宜按圖4.3.4的人員凈化程序進行布置。

4.3.5 根據不同的空氣潔凈度等級和工作人員數量，潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積應合理確定。一般宜按潔凈區設計人數平均每人2～4m2計算。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜按低于相鄰潔凈區空氣潔凈度等級1～2級設置。
4.3.6 潔凈工作服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級。
4.3.7 潔凈室內設備和物料出入口，應根據設備和物料的性質、形狀等特征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。
4.4 噪聲控制
4.4.1 潔凈室內的噪聲級（空態），非單向流潔凈室不應大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應大于65dB（A）。
4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用倍頻程聲壓級；各頻帶聲壓級值不宜大于表4.4.2中的規定。

4.4.3 潔凈廠房的平、剖面設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。
4.4.4 潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設備，應設置專用隔聲設施（如隔聲間、隔聲罩等）。
4.4.5 凈化空調系統噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內的排風系統除事故排風外應進行減噪設計。
4.4.6 凈化空調系統，根據室內容許噪聲級要求，風管內風速宜按下列規定選用。
1 總風管為6～10m/s。
2 無送、回風口的支風管為4～6m/s。
3 有送、回風口的支風管為2～5m/s。
4.5 微振控制
4.5.1 對有微振控制要求的潔凈廠房設計時應考慮:
1 在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面及頂棚連接處，應按微振控制要求設計。
2 潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及其連接管道，應采取主動隔振措施。
3 應確定潔凈廠房內外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。
4.5.2 精密設備、精密儀器儀表的容許振動值，應由生產工藝和設備制造部門提供。當生產工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時，可參照《隔振設計規范》GBJ 22執行。
4.5.3 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應具備下列條件:
1 周圍振源對其綜合影響的振動數據。
2 設備、儀器儀表的型號、規格及輪廓尺寸圖。
3 設備、儀器儀表的質量、質心位置及質量慣性矩。
4 設備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺栓及預埋件位置等。
5 設備、儀器儀表的調平要求。
6 設備、儀器儀表的容許振動值。
7 所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術參數、外形尺寸及安裝條件。
4.5.4 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應考慮:
1 隔振臺座的剛度。
2 設備、儀器儀表運行時，由于質量及質心位置的變化引起隔振臺座傾斜的校正措施。
3 隔振系統各向阻尼比不應小于0.15。
4 隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型。
4.5.5 精密設備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進行凈化處理。
5 建筑
5.1 一般規定
5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性。主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不宜采用內墻承重體系。
5.1.2 潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵等要求。
5.1.3 潔凈廠房主體結構的耐久性應與室內裝備和裝修水平相協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。
5.1.4 送、回風管和其它管線暗敷時，應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井，其形式、尺寸和構造應滿足風道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5 對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，其平面布局和構造處理，應避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產帶來不利的影響。
5.2 防火和疏散
5.2.1 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。
5.2.2 潔凈廠房內生產工作間的火災危險性，應按照現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）分類。潔凈廠房生產工作間的火災危險性分類舉例見附錄A。
5.2.3 甲、乙類生產的潔凈廠房宜為單層，其防火分區最大允許建筑面積，單層廠房宜為3000m2，多層廠房宜為2000m2。丙、丁、戊類生產的潔凈廠房其防火分區最大允許建筑面積應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）的規定。
5.2.4 潔凈室的頂棚和壁板（包括夾芯材料）應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料。頂棚的耐火極限不應低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應低于1.0h。
5.2.5 在一個防火分區內的綜合性廠房，其潔凈生產與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應頂棚的耐火極限不應低于1h，隔墻上的門窗耐火極限不應低于0.6h。穿隔墻或頂棚的管線周圍空隙應采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.6 技術豎井井壁應為不燃燒體，其耐火極限不應低于1h。井壁上檢查門的耐火極限不應低于0.6h；豎井內在各層或間隔一層樓板處，應采用相當于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.7 潔凈廠房每一生產層、每一防火分區或每一潔凈區的安全出口數目不應少于2個，但符合下列要求的可設1個:
1 對甲、乙類生產廠房每層的潔凈區總建筑面積不超過50m2，且同一時間內的生產人數不超過5人。
2 對丙、丁、戊類生產廠房，應按現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）的規定設置。
5.2.8 安全出口應當分散布置，從生產地點至安全出口不應經過曲折的人員凈化路線，并應設有明顯的疏散標志，安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）的規定。
5.2.9 潔凈區與非潔凈區、潔凈區與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并加閉門器。安全疏散門不應采用吊門、轉門、側拉門、卷簾門以及電控自動門。
5.2.10 潔凈廠房與潔凈區同層外墻應設可供消防人員通往廠房潔凈區的門窗，其洞口間距大于80m時，應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。
專用消防口的寬度應不小于750mm，高度應不小于1800mm，并應有明顯標志。樓層的專用消防口應設置陽臺，并從二層開始向上層架設鋼梯。
5.2.11 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及寬度小于750mm、高度小于1800mm或裝有柵欄的窗，均不應作為火災發生時提供消防人員進入廠房的入口。
5.3 室內裝修
5.3.1 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。
5.3.2 潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求:
1 潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應減少凹凸面。
2 踢腳不應突出墻面。
3 潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當必須采用時宜干燥作業，抹灰應采用高級抹灰標準。墻面抹灰后應刷涂料面層，并應選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質發霉的涂料。
5.3.3 潔凈室地面設計應符合下列要求:
1 潔凈室地面應滿足生產工藝要求。
2 潔凈室地面應平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。
3 地面墊層宜配筋，潮濕地區墊層應做防潮構造。
5.3.4 潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面應平整、光滑，位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。
5.3.5 潔凈室（區）外窗設計應符合下列要求:
1 當潔凈室（區）和人員凈化用室設置外窗時，應采用雙層玻璃固定窗，并應有良好的氣密性。
2 靠潔凈室室內一側窗不宜設窗臺。
5.3.6 潔凈室內的密閉門應朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設閉門器，無窗潔凈室的密閉門上宜設觀察窗。
5.3.7 潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列要求:
1 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構造和施工縫隙，均應采取可靠的密閉措施。
2 當采用輕質構造頂棚做技術夾層時，夾層內宜設檢修通道。
3 潔凈室窗宜與內墻面齊平，不宜設窗臺。
5.3.8 潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表面材料的光反射系數:頂棚和墻面宜為0.6～0.8，地面宜為0.15～0.35。
5.3.9 對8級以上的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。
5.3.10 設計選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》（GB 50222）的規定。
6 空氣凈化
6.1 一般規定
6.1.1 潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級應滿足生產工藝對生產環境的潔凈要求。
6.1.2 根據空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調系統宜分開設置:
1 運行班次或使用時間不同。
2 生產工藝中某工序散發的物質或氣體對其它工序的產品質量有影響。
3 對溫、濕度控制要求差別大。
4 凈化空調系統與一般空調系統。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應符合表6.1.4的規定。

6.1.5 潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
1 補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。
2 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
6.1.6 潔凈區的清掃:一般情況下宜采用移動式高效真空吸塵器；對于1級到5級的單向流潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統。潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷，吸塵口應加蓋封堵。
6.2 潔凈室壓差控制
6.2.1 潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按生產工藝要求決定維持正壓差或負壓差。
6.2.2 不同等級的潔凈室以及潔凈區與非潔凈區之間的壓差，應不小于5Pa，潔凈區與室外的壓差，應不小于10Pa。
6.2.3 潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量，根據潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數法確定。
6.2.4 送風、回風和排風系統的啟閉應聯鎖。正壓潔凈室聯鎖程序為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；關閉時聯鎖程序應相反。
負壓潔凈室聯鎖程序與上述正壓潔凈室相反。
6.2.5 非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調處理。
6.3 氣流流型和送風量
6.3.1 氣流流型的設計，應符合下列要求:
1 氣流流型應滿足空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級要求為1～4級時，應采用垂直單向流；空氣潔凈度要求為5級時，應采用垂直單向流或水平單向流。
2 空氣潔凈度要求為6～9級時，宜采用非單向流。
3 潔凈室工作區的氣流分布應均勻。
4 潔凈室工作區的氣流流速應滿足生產工藝要求。
6.3.2 潔凈室的送風量，應取下列三項中的最大值:
1 為保證空氣潔凈度等級的送風量。
2 根據熱、濕負荷計算確定的送風量。
3 向潔凈室內供給的新鮮空氣量。
6.3.3 為保證空氣潔凈度等級的送風量，按表6.3.3中有關數據進行計算或按室內發塵量進行計算。

6.3.4 潔凈室內各種設施的布置，應考慮對氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應符合下列要求:
1 單向流潔凈室內不宜布置潔凈工作臺；非單向流潔凈室的回風口宜遠離潔凈工作臺。
2 需排風的工藝設備宜布置在潔凈室下風側。
3 有發熱設備時，應采取措施減少熱氣流對氣流分布的影響。
4 余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風側。
6.4 空氣凈化處理
6.4.1 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應符合下列要求:
1 空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級合理選用空氣過濾器。
2 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。
3 中效（高中效）空氣過濾器宜集中設置在空調系統的正壓段。
4 亞高效和高效空氣過濾器作為末端過濾器時宜設置在凈化空調系統的末端；超高效過濾器必須設置在凈化空調系統的末端。
5 設置在同一潔凈區內的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率宜相近。
6 高效（亞高效、超高效）空氣過濾器安裝前應進行檢漏，安裝應嚴密，安裝方式應簡便、可靠，易于檢漏和更換。
6.4.2 對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。
6.4.3 凈化空調系統設計應合理利用回風。
6.4.4 凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。
6.4.5 凈化空調系統的電加熱器、電加濕器應采取安全保護措施。寒冷地區的新風系統應設置防凍保護措施。
6.5 采暖通風、防排煙
6.5.1 對8級以上的潔凈室不應采用散熱器采暖。
6.5.2 潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置。
6.5.3 在下列情況下，局部排風系統應單獨設置:
1 排風介質混合后能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性和發生交叉污染。
2 排風介質中有毒與無毒，毒性相差很大。
3 易燃、易爆與一般排風。
6.5.4 潔凈室的排風系統設計，應采取下列措施:
1 防止室外氣流倒灌。
2 含有易燃、易爆局部排風系統的防火防爆。
3 排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區有害物排放濃度及排放量規定時，應進行無害化處理。
4 對含有水蒸氣和凝結性物質的排風系統，應設坡度及排放口。
6.5.5 換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間，應采取通風措施，其室內的靜壓值，應低于潔凈區。
6.5.6 根據生產工藝要求設置事故排風系統。事故排風系統應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點。
6.5.7 潔凈廠房疏散走廊，應設置機械防排煙設施。潔凈室機械防排煙系統宜與通風、凈化空調系統合用，但必須采取可靠的防火安全措施，并應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）的要求。
6.6 風管和附件
6.6.1 凈化空調系統的新風管段應設置電動密閉閥、調節閥；送、回風管段應設置調節閥；潔凈室內的排風系統應設置調節閥、止回閥或電動密閉閥等。
6.6.2 下列情況之一的通風、凈化空調系統的風管應設防火閥:
1 風管穿越防火分區的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側。
2 風管穿越通風、空氣調節機房的隔墻和樓板處。
3 垂直風管與每層水平風管交接的水平管段上。
6.6.3 凈化空調系統的風管和調節風閥、高效空氣過濾器的保護網、孔板、擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應根據輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環境條件確定。
潔凈室內排風系統的風管和調節閥、止回閥、電動密閉閥等附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。
6.6.4 凈化空調系統的送、回風總管及排風系統的吸風總管段上，應采取消聲措施，滿足潔凈室內噪聲要求。
凈化空調系統的排風管或局部排風系統的排風管段上，應采取消聲措施，滿足室外環境區域噪聲標準的要求。
6.6.5 在空氣過濾器的前后，應設置測壓孔或壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，宜設置風量測定孔。
6.6.6 風管、附件及輔助材料的選擇應符合下列要求:
1 凈化空調系統、排風系統的風管應采用不燃材料。
2 排除腐蝕性氣體的風管，應采用耐腐蝕的難燃材料。
3 排煙系統的風管應采用不燃材料，其耐火極限應大于0.5h。
4 附件、保溫材料、消聲材料和粘結劑等均采用不燃材料或難燃材料。
7 給水排水
7.1 一般規定
7.1.1 潔凈廠房內的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內，也可埋地敷設。潔凈室內管道宜暗裝，與本房間無關的管道不宜穿過。
7.1.2 管道外表面可能結露時，應采取防護措施。防結露層外表面應光滑易于清洗，并不得對潔凈室造成污染。
7.1.3 管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時應設套管，管道和套管之間應采取可靠的密封措施。無法設置套管的部位也應采取有效的密封措施。
7.2 給水
7.2.1 潔凈廠房內的給水系統應根據生產、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求分別設置。管道的設計應留有余量，以適應工藝變動。
7.2.2 水質要求較高的純水供水管道應采用循環供水方式，并應符合下列規定:
1 循環附加水量為使用水量的30%～100%。
2 干管流速為1.5～3m/s。
3 不循環的支管長度應盡量短，其長度不大于6倍管徑。
4 供水干管上應設有清洗口。
5 管道系統各組成部分必須密封，不得有滲氣現象。
7.2.3 管材選擇應符合下列要求:
1 純水管道的管材必須滿足生產工藝對水質的要求，根據需要可選擇不銹鋼管和聚氯乙烯（UPVC、CL-PVC）、聚丙烯（PP）、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS）、聚偏氟乙烯（PVDF）等管材。
2 工藝設備用循環冷卻給水和回水管可采用鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管。
3 管道配件應采用與管道相應的材料。
7.2.4 純水和冷卻水管道應預留清洗口。
7.2.5 潔凈廠房周圍應設置灑水設施。
7.3 排水
7.3.1 排水系統應根據工藝設備排出的廢水性質、濃度和水量等特點確定。有害廢水經廢水處理，達到國家排放標準后排出。
7.3.2 潔凈室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必須在其排出口以下部位設水封裝置，排水系統應設有完善的透氣裝置。
7.3.3 潔凈室內的地漏等排水設施的設置應符合下列要求:
1 空氣潔凈度等級高于6級的潔凈室內不應設地漏。
2 6級潔凈室內不宜設地漏，如必須設置時應采用專用地漏。
3 等于或高于7級的潔凈室內不宜設排水溝。
4 等于或高于7級的潔凈室內不應穿過排水立管；其它潔凈室內穿過排水立管時不應設檢查口。
7.3.4 潔凈廠房內應采用不易積存污物、易于清洗的衛生設備、管道、管架及其附件。
7.3.5 潔凈廠房宜設置消防排水設施。
7.4 消防給水和滅火設備
7.4.1 潔凈廠房必須設置消防給水系統，其設計應根據生產的火災危險性、建筑物耐火等級以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2 潔凈廠房的消防給水和固定滅火設備的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）的要求。
7.4.3 潔凈室的生產層及上下技術夾層（不含不通行的技術夾層），應設置室內消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，同時使用水槍數不少于2支，水槍充實水柱長度不小于10m，每只水槍的出水量應按不小于5L/s計算。
7.4.4 潔凈廠房內各場所必須配置滅火器，其設計應滿足現行國家標準《建筑滅火器配置規范》（GBJ 140）的要求。
7.4.5 潔凈廠房內設有貴重設備、儀器的房間設置固定滅火設施時，除應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）的規定外，還應符合下列要求:
1 當設置自動噴水滅火系統時，宜采用預作用式自動噴水滅火系統。
2 當設置氣體滅火系統時，不應采用鹵代烷1211以及能導致人員窒息和對保護對象產生二次損害的滅火劑。
8 氣體管道
8.1 一般規定
8.1.1 氣體管道的干管，應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內，當與水、電管線共架時，應設在其上部。與本房間無關的管道不應穿過。
8.1.2 潔凈室的氣體管道及管架宜設裝飾面板。當有可燃氣體管道時，應敷設在裝飾面板外側，水平敷設時應在其頂部。
8.1.3 高純氣體管道設計應符合下列要求:
1 按氣體流量、壓力或生產工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于Φ6×1mm。
2 管道系統應盡量短。
3 不應出現不易吹除的“盲管”等死角。
4 管道系統應設必要的吹除口和取樣口。
8.1.4 氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃氣體和氧氣管道的末端或最高點應設放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。可燃氣體還應符合本規范第8.4.2條的要求。
8.1.6 氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體純度要求進行選擇和配置。氣體終端凈化裝置宜設在鄰近用氣點處。
8.1.7 氣體過濾器應根據生產工藝對氣體潔凈度要求進行選擇和配置。高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。
8.1.8 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設在氣體入口室。
8.1.9 甲類火災危險生產用氣體入口室的設置，應符合下列規定:
1 毗連布置時，宜設在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處。
2 應有良好的通風。
3 泄壓面積和電氣防爆應按現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）、《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》（GB 50058）的規定執行。
8.2 管道材料和閥門
8.2.1 氣體管道材料和閥門的選用，應滿足生產工藝對氣體純度、露點的要求和使用特點，并按氣體性質，經技術經濟比較后確定。
8.2.2 高純氣體管道和閥門應根據生產工藝要求，按下列規定選用:
1 氣體純度大于或等于99.999%，露點低于-76℃，應采用內壁電拋光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不銹鋼管（316L）或內壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
2 氣體純度大于或等于99.99%，露點低于-60℃，應采用內壁電拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其它氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 干燥壓縮空氣露點低于-70℃，應采用內壁拋光的0Cr18Ni9不銹鋼管（304）；露點低于-40℃，宜采用0Cr18Ni9不銹鋼管（304）或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質宜與相連接管道材質相適應。
8.3 管道連接
8.3.1 氣體管道連接，應符合下列規定:
1 管道連接應采用焊接，但熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。螺紋連接的密封材料應符合本規范第8.3.3條的要求。
2 不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承插焊連接，但高純氣體管道宜采用內壁無斑痕的對接焊。
8.3.2 管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。
8.3.3 管道與閥門的連接，應符合下列規定:
1 高純氣體管道與閥門連接的密封材料，按生產工藝和氣體特性的要求宜采用金屬墊或雙卡套。
2 螺紋或法蘭連接處的密封材料應采用聚四氟乙烯。
8.4 安全技術
8.4.1 下列部位應設可燃氣體報警裝置和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖:
1 甲類火災危險生產的氣體入口室。
2 管廊，上、下技術夾層或技術夾道內有可燃氣體管道的易積聚處。
3 潔凈室內使用可燃氣體處。
8.4.2 可燃氣體管道應設下列安全技術措施:
1 接至用氣設備的支管和放散管，應設置阻火器。 
2 引至室外的放散管，應設防雷保護設施。
3 應設導除靜電的接地設施。
8.4.3 氧氣管道應設下列安全技術措施:
1 管道及其閥門、附件應經嚴格脫脂處理。
2 應設導除靜電的接地設施。
8.4.4 氣體管道應按不同介質設明顯的標識。
8.4.5 各種氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內，但必須采取不積塵和易于清潔的措施。
9 電氣
9.1 配電
9.1.1 潔凈廠房低壓配電電壓應采用220/380V。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。
9.1.2 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求應根據現行國家標準《供配電系統設計規范》（GB 50052）和生產工藝要求確定。主要生產工藝設備由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電，有特殊要求的工作電源宜設置不間斷電源（UPS）。凈化空調系統用電負荷、照明負荷應由變電所專線供電。
9.1.3 潔凈廠房的消防用電設備的供配電設計應按現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）規定執行。
9.1.4 電源進線（不包括消防用電）應設置切斷裝置，并宜設在潔凈區外便于管理的地點。
9.1.5 潔凈室內的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設備，不宜設置大型落地安裝的配電設備。
9.1.6 潔凈室內的電氣管線宜暗敷，穿線導管應采用不燃材料。潔凈區的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應有可靠的密封措施。
9.2 照明
9.2.1 潔凈室內照明光源，宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時，也可采用其它形式光源。
9.2.2 潔凈室內一般照明燈具為吸頂明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應有可靠的密封措施。
潔凈室內不應采用格柵型燈具。
9.2.3 無采光窗潔凈區工作面上的照度值，不應低于表9.2.3規定的數值。

9.2.4 無采光窗潔凈區混合照明中的一般照明，其照度值應按各視覺等級相應混合照度值的10%～15%確定，并不低于200lx。
9.2.5 潔凈室內一般照明的照度均勻度不應小于0.7。
9.2.6 潔凈廠房備用照明的設置應符合下列要求:
1 潔凈廠房內應設置備用照明。
2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
3 備用照明應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
9.2.7 潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現行國家標準設置疏散標志。在專用消防口處應設置紅色應急照明燈。
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房內應設置與廠房內外聯系的通信裝置。潔凈廠房內生產區與其它工段的聯系，宜設生產對講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據生產管理和生產工藝特殊需要，宜設置閉路電視監視系統。
9.3.3 潔凈廠房的生產區（包括技術夾層）、機房、站房等均應設置火災探測器。潔凈廠房生產區及走廊應設置手動火災報警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應設置消防值班室或控制室，其位置不應設在潔凈區內。消防控制室應設置消防專用電話總機。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設備及線路連接應可靠。控制設備的控制及顯示功能，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》（GBJ 16）及《火災自動報警系統設計規范》（GB 50116）的規定。潔凈區內火災報警應進行核實，并應進行如下消防聯動控制:
1 啟動室內消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應在消防控制室設置手動直接控制裝置。
2 關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的空調循環風機、排風機及新風機，并接收其反饋信號。
3 關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門。
4 控制備用應急照明燈和疏散標志燈燃亮。
5 在消防控制室或低壓配電室，應手動切斷有關部位的非消防電源。
6 啟動火災應急擴音機，進行人工或自動播音。
7 控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體的貯存、使用場所，管道入口室及管道閥門等易泄漏的地方，應設可燃氣體探測器。有毒氣體的貯存、使用場所應設氣體檢測器。報警信號應聯動啟動或手動啟動相應的事故排風機。并應將報警信號送至消防控制室。
9.4 自動控制
9.4.1 潔凈廠房應設置凈化空調系統等的自動監控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調系統風機宜選用變頻調速控制。
9.4.3 凈化空調系統電加熱器，應設置無風、超溫斷電保護。若采用電加濕器時應設置無水保護。寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。
9.5 靜電防護及接地
9.5.1 潔凈廠房應根據工藝生產要求設靜電防護措施。
9.5.2 潔凈室內的防靜電地面，其性能應符合下列要求:
1 地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩定。
2 地面的表層應采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應為1.0×105～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104～1.0×1011Ω·cm。
3 地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻值應為1.0×105～1.0×109Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調系統，應采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》（GB 50058）的有關規定。
9.5.5 防靜電接地系統，應分別不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格，或閉合的接地銅排環。銅排截面不應小于100mm2，防靜電接地引線應從等電位的接地網格或閉合銅排環上就近接地連接。接地引線應使用多股銅線，導線截面不應小于1.5mm2。
防靜電接地系統在接入大地前應設置等電位的防靜電接地基準板，從基準板上引出接地主干線，其銅導體截面不應小于95mm2，并應采用絕緣屏蔽電纜。接地主干線應與設置在防靜電區域內的接地網格或閉合銅排環連接。在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω。 
9.5.6 潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。直流工作接地的基準電位應取自總等位銅排，接地導線與銅排做單點連接。主干線截面不應小于95mm2，支干線截面不應小于35mm2。
9.5.7 接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》（GB 50057）的規定。